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上海

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详细说明
 1.主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。 2.所有元器件及核心部件采用进口,保证了整机的稳定性和使用寿命。 3.真空泵采用进口旋片泵,是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系, 在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验,使泵的寿命大大提高,并有效降 低了泵的维护成本,泵的各项保护措施完善,提高了长时间工作极限,泵油为耐 高温、抗氧化油,泵具有可自行缓解温度过高的散热体系,无需水冷。泵体内置 于机柜内部,使机器紧凑,占地面积小。 4.自动控制系统采用PLC加触摸屏控制,所有工艺参数、工艺过程实时监控,并显 示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录,适合维护,可以提供工 艺参考。 5.可存储50组工艺配方,随意调用。 6.清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。 7.工艺参数受密码保护,分级密码管理查询。 8.一键完成全自动工艺,实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。 9.自动提醒系统维护、更换真空泵油等,避免机器过载、过老化情形下工作,延 长使用寿命。 10.气体质量流量计采用美国进口,由模拟量输入输出,量程为0~200sccm可在量 程范围内无级调节,根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进行PID调节而实 现真空度的控制。 11.根据特殊的工艺要求可使用干泵,尾气处理设备,油过滤器,过滤返油装置等, 电极结构(专利申请中)的高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性 及稳定性。

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